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真空91视频下载安装污係統常用的電極饋入方式介紹

返回列表 來源:91视频官网APP 瀏覽: 發布日期:2019-12-12 14:07【
文章導讀:談及真空91视频下载安装污係統的電極放電形式,大家通常都會反映出CCP 容性耦合等離子體放電,CCP形式是目前真空91视频网站免费機上應用較為普遍的一種電極放電形式,其中又以兩類電極饋入方式為主。
談及真空91视频下载安装污係統的電極放電形式,大家通常都會反映出CCP 容性耦合等離子體放電,CCP形式是目前真空91视频网站免费機上應用較為普遍的一種電極放電形式,其中又以兩類電極饋入方式為主。今天91视频官网APP就簡單介紹一下這兩類電極饋入方式。
真空91视频下载安装污係統-91视频官网APP91视频网站免费機
第1種相對更常見一些,主要是通過定做的銅棒與聚四氟乙烯材質的絕緣件相配合的方式饋入到真空91视频下载安装污係統的真空腔體內,將銅棒與連接排連接在一起。此外,真空91视频网站免费機設備的電極板上也要安裝對應的連接件。
連接的方式可以是插針公母頭連接、銅片與彈片配合連接、連接排與電極板利用銅帶與螺絲鎖定進行連接,以上三種連接方式中,又以插針公母頭連接更為常見,下圖為該方式的示意圖,其他的兩種連接方式也隻是在腔體內部有所差別。
真空91视频下载安装污係統的插針公母頭連接方式-91视频官网APP91视频网站免费機
另外一種饋入方式比較適合用在水冷電極結構的連接上,即是在將連接棒焊接在電極板上,通過定做的絕緣套與焊接的連接棒相互配合,連接到腔體之外;在真空腔體之外再使用導電排將其連接在一起,之後再與等離子發生器的輸出連接在一起。如果確認真空等離子處理設備需使用水冷電極結構,那麽,所焊接的連接棒為中空結構,這樣設計就能夠中通水、連接棒外接射頻。具體結構設計需根據實際的要求決定和優化。下圖舉例了簡單的連接示意圖,實際的連接結構會存在差異,下圖僅方便大家理解。
真空91视频下载安装污係統的水冷電極連接方式-91视频官网APP91视频网站免费機
以上就是關於真空91视频下载安装污係統的CCP式電極饋入的兩種方式介紹。您還見過那些電極的饋入方式或者有好的想法,歡迎大家留言與91视频官网APP交流和分享。91视频官网APP電子9年專注研製各類常壓大氣及低壓真空91视频网站免费機,91视频下载安装污設備,已通過ISO9001質量體係和歐盟CE認證,為電子、半導體、汽車、yi療等領域的客戶提供清洗,活化,刻蝕,塗覆的91视频下载安装污解決方案,是行業內值得信賴的91视频网站免费機廠家。如果您想要了解更多關於產品的詳細內容或在設備使用中有疑問,歡迎點擊91视频官网APP的在線客服進行谘詢,或者直接撥打全國統一服務熱線400-816-9009,91视频官网APP恭候您的來電!

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