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91视频网站免费機射頻水平電極容性耦合放電形式是怎樣的

返回列表 來源:91视频官网APP 瀏覽: 發布日期:2020-09-03 09:46【
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一、什麽是射頻
      91视频网站免费機的射頻或者說RF,是指工作頻率在MHz量級,射頻91视频网站免费機的典型波段值為13.56MHz。在材料表麵的91视频网站免费應用中,電容耦合式的射頻91视频网站免费機適用範圍較為廣泛。
二、基本原理
      91视频网站免费機中低溫等離子體的產生機製有多鍾,包括但不局限於直流輝光放電、射頻感應放電、電容耦合射頻放電,其中,電容耦合水平電極板射頻放電又以處理麵積大,在諸多研究和工業處理中應用廣泛。下圖為水平電極容性耦合射頻91视频网站免费機放電。
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      對於電容耦合高頻等離子體源而言,保持在平行平板電極間的等離子體主要是通過高頻電場加熱。大部分的電容性耦合射頻等離子體反應器都是非磁化的,工作頻率在1~100MHz之間,要比電子響應電磁場的電子等離子體頻率要低,即ω<ωpe。非磁化容性耦合射頻放電模型如下圖所示,由於使用的容性耦合射頻放電能夠產生較大麵積的穩定等離子體,因而正如上述所說,電容性放電已經成為低氣壓放電材料處理中應用zui廣泛的等離子體源。
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