低壓真空等離子設備用於真空氣路的控製閥如何分類？
文章導讀：低壓真空等離子設備能夠在真空的環境下進行材料91视频下载安装污的設備，設備的激發頻率、激發能量、真空度、氣體流量、腔體結構、氣體特性都是設備的基本參數。真空氣路控製的控製閥能夠實現對氣路的通斷，從而控製真空度及其他參數。
用於低壓真空等離子設備真空氣路控製的控製閥，主要可分為三種，分別是高真空氣動擋板閥、電磁真空帶充氣閥、手動高真空角閥，它們的工作原理大致相同，基本都可以通過控製閥來實現真空氣路的通與斷以及測壓的功能，保障設備可靠穩定地運行，不同的是其各自所適用的設備種類有所區別。
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一、高真空氣動擋板閥
高真空氣動擋板閥也稱GDQ，一般情況下低壓真空等離子設備在短時間待機的情形下，真空泵會保持運行的狀態，高真空氣動擋板閥可用於接通以及切斷真空管路中的氣流，從而能夠實現真空腔體內抽真空過程的開啟和關閉。高真空氣動擋板由壓縮空氣作為動力，具有運行穩定可靠、維護方便的優點，是三類真空氣路控製閥中應用較為廣泛的一種。
二、電磁真空帶充氣閥
電磁真空帶充氣閥屬於電磁閥類的控製閥，主要使用在真空泵隨運行參數而開啟的低壓真空等離子設備上。工作原理是：當真空泵開始運行，電磁真空帶充氣閥隨之打開，當真空泵關閉，此時閥門線圈斷電，閥門依靠機械力而關閉，可以防止真空泵內油氣因真空腔體內負壓而被倒吸。
電磁真空帶充氣閥具有安裝簡單的優點，但穩定性相對較差，如果長時間使用，閥門的磁力會衰退， 同時複位彈簧也容易出現反應遲緩的情況，目前這類控製閥大多是被應用於實驗型的低壓真空等離子設備。
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