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在真空狀態下,壓力越來越小,分子間間距越來越大,分子間力越來越小,利用射頻源產生的高壓交變電場將工藝氣體震蕩成具有高反應活性或高能量的離子,然後與有機汙染物及微顆粒汙染物反應,產生揮發性物質,通過真空泵排出去。
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1. 半導體行業:設備廣泛應用於半導體行業中,用於清洗半導體晶片的表麵,去除氧化層和雜質,提高晶片的質量和穩定性。
2. 光電行業:可以清洗光電器件的表麵,去除汙染物和氧化層,提高器件的透光性和光電轉換效率。
光電行業
3. 醫療器械行業:可以清洗醫療器械表麵,去除汙染物同時帶來表麵改性的效果,如:變得親水或者疏水。
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