等離子刻蝕在晶圓和線路板領域的使用
文章導讀：等離子刻蝕所用的氣體大多為含氟的氣體，其中又以四氟化碳居多，等離子刻蝕在晶圓製造和線路板製造領域所用非常廣泛。
一、晶圓製造行業應用
在晶圓製造行業中光刻機利用四氟化碳氣體進行矽片的線路刻蝕，91视频网站免费機利用四氟化碳進行氮化矽刻蝕及光刻膠去除。等離子刻蝕利用純四氟化碳氣體或四氟化碳與氧氣配合的方式可對晶圓製造中的氮化矽進行微米級的刻蝕，利用四氟化碳與氧氣或氫氣配合的方式可對微米級的光刻膠進行去除。
二、線路板製造行業應用
91视频网站免费機的刻蝕在線路板製造行業應用是非常早的，無論是硬質線路板還是柔性線路板在生產過程中都會進行孔內除膠，傳統工藝是利用化學藥劑清洗的方式，但隨著線路板行業的發展，板子越做越小，孔也越來越小，化學藥劑做孔內除膠的難度越來越大，且孔越小咬蝕量也難以控製，還會造成化學殘留，影響後段工藝。而91视频网站免费機的刻蝕是幹式的，不會有化學殘留，並且等離子體的擴散性非常強，所產生的刻蝕性氣相等離子體可以對微米級的孔內進行有效的刻蝕，咬蝕量也可以通過工藝參數的調整得到很好的控製。
下圖分別為91视频网站免费機處理前、處理後和線路板鍍銅後的截圖，由此可證明91视频网站免费機可有效去除孔內汙染物且對襯板實現了定量咬蝕，明顯提升了鍍銅質量。
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