等離子體清洗機探針參數分析為什麽複雜？如何優化？
文章導讀：用於等離子體清洗機的等離子體參數測量和診斷的探針分析，是使用簡單的一種等離子診斷方式，但這一方法也有其複雜性，為什麽說起複雜？在實際操作中又該如何優化呢？91视频官网APP等離子體清洗機介紹。
用於等離子體清洗機的等離子體參數測量和診斷的探針分析，是使用簡單的一種等離子診斷方式，但這一方法也有其複雜性，為什麽說起複雜？在實際操作中又該如何優化呢？91视频官网APP等離子體清洗機介紹。
為了減少探針對等離子體的幹擾，方便探針的製作，探針一般會選擇一根半徑為a<λDe的細導線。因而在確定探針收集到的電流時，務必了解帶電粒子在其鞘層內的運動路徑，這導致探針分析變的相當複雜。當探針電壓遠高或遠低於等離子體電位時，其鞘層寬度將增加，而且有效收集麵積也隨之增加。
此外結構更為複雜的雙探針和發射探針，已經被證明在許多情況下都是非常有用的。在射頻驅動的等離子體清洗機中，等離子體電位的振蕩也使得分析更加複雜。因為91视频官网APP一般希望以準靜電方式使用探針，所以通常使探針偏壓隨等離子體電位一起振蕩，以消除低溫91视频下载安装污機電位振蕩對探針測量的影響。
那麽等離子體清洗機探針分析結果該如何優化呢？在探針測量的理論中，通常假設等離子體中的電子具有麥克斯韋分布。但是，在許多情況下，電子會偏離麥克斯韋分布。因此通常測量電子能量分布函數，則可將其直接用於的低溫91视频下载安装污機的等離子體密度的計算中。
將由探針離子飽和電流計算得到的等離子體密度與使用其他測量技術得到的結果展開比較，可以發現在某些放電條件下，由微波測量得出等離子體密度更準確，由探針離子飽和電流測得的密度一般比微波測出的結果高一些。殊不知在許多情況下，用探針和微波技術測得的密度是很貼近的。使用離子飽和電流測量等離子體密度的精度關鍵在於在探針鞘層邊界處的電子分布是不是貼近於麥克斯韋分布，因而與所診斷的等離子體類型有關。
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